Dispersión asistida por magnetrón en películas de TIN /

Dispersión asistida por magnetrón en películas de TIN /

Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a...

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Bibliographic Details
Main Author: Ortega de la Rosa, Rubin (autor.)
Other Authors: Franco M., Claudia (autor.), Valdés C., Eduardo (autor.), Anda Rodríguez, Guillermo de (autor.)
Format: Article
Language:Spanish
Published: Arica, Chile : Universidad de Tarapaca, 2005.
Subjects:
Magnetrón.
PVD.
SEM.
Sustratos.
TiN.
Libros electrónicos.
Online Access:https://elibro.net/ereader/unanicaragua/12258

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