Dispersión asistida por magnetrón en películas de TIN /

Dispersión asistida por magnetrón en películas de TIN /

Por medio de la técnica PVD (Deposición física en fase vapor), de dispersión asistida por un magnetrón, se depositó un recubrimiento de TiN sobre sustratos de acero grado herramienta D2 a partir de un blanco de titanio en una mezcla de gases de Ar y N2. Los recubrimientos fueron depositados a...

Descripción completa

Detalles Bibliográficos
Autor principal: Ortega de la Rosa, Rubin (autor.)
Otros Autores: Franco M., Claudia (autor.), Valdés C., Eduardo (autor.), Anda Rodríguez, Guillermo de (autor.)
Formato: Artículo
Lenguaje:Spanish
Publicado: Arica, Chile : Universidad de Tarapaca, 2005.
Materias:
Magnetrón.
PVD.
SEM.
Sustratos.
TiN.
Libros electrónicos.
Acceso en línea:https://elibro.net/ereader/unanicaragua/12258

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