Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method

En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la...

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Main Authors:	Der, Manuel, Olmos, Carol, Rosero Yanez, Gustavo Iván, Santizo, Itzel, Fernandez, Tamara, Dieguez, Maria Jose, Sacco, Francisco, Granell, Pablo, Golmar, Federico, Lerner, Betiana, Lasorsa, Carlos, Perez, Maximiliano
Format:	Artículo
Language:	Español
Published:	Universidade Federal do Rio de Janeiro 2019
Subjects:	Biosensores Silicio Biosensors Silicon Macroporos Método Electroquímico Micropores Electrochemical Method
Online Access:	http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461