Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la...
| Autores principales: | , , , , , , , , , , , |
|---|---|
| Formato: | Artículo |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
Universidade Federal do Rio de Janeiro
2019
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461 |
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