Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method

En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la...

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Detalles Bibliográficos
Autores principales: Der, Manuel, Olmos, Carol, Rosero Yanez, Gustavo Iván, Santizo, Itzel, Fernandez, Tamara, Dieguez, Maria Jose, Sacco, Francisco, Granell, Pablo, Golmar, Federico, Lerner, Betiana, Lasorsa, Carlos, Perez, Maximiliano
Formato: Artículo
Lenguaje:Español
Publicado: Universidade Federal do Rio de Janeiro 2019
Materias:
Acceso en línea:http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf
http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461

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