Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method
En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la...
| Autores principales: | , , , , , , , , , , , |
|---|---|
| Formato: | info:ar-repo/semantics/artículo |
| Lenguaje: | Español |
| Publicado: |
Universidade Federal do Rio de Janeiro
2019
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| Materias: | |
| Acceso en línea: | http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461 |
| _version_ | 1855035327588073472 |
|---|---|
| author | Der, Manuel Olmos, Carol Rosero Yanez, Gustavo Iván Santizo, Itzel Fernandez, Tamara Dieguez, Maria Jose Sacco, Francisco Granell, Pablo Golmar, Federico Lerner, Betiana Lasorsa, Carlos Perez, Maximiliano |
| author_browse | Der, Manuel Dieguez, Maria Jose Fernandez, Tamara Golmar, Federico Granell, Pablo Lasorsa, Carlos Lerner, Betiana Olmos, Carol Perez, Maximiliano Rosero Yanez, Gustavo Iván Sacco, Francisco Santizo, Itzel |
| author_facet | Der, Manuel Olmos, Carol Rosero Yanez, Gustavo Iván Santizo, Itzel Fernandez, Tamara Dieguez, Maria Jose Sacco, Francisco Granell, Pablo Golmar, Federico Lerner, Betiana Lasorsa, Carlos Perez, Maximiliano |
| author_sort | Der, Manuel |
| collection | INTA Digital |
| description | En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado. |
| format | info:ar-repo/semantics/artículo |
| id | INTA4461 |
| institution | Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA -Argentina) |
| language | Español |
| publishDate | 2019 |
| publishDateRange | 2019 |
| publishDateSort | 2019 |
| publisher | Universidade Federal do Rio de Janeiro |
| publisherStr | Universidade Federal do Rio de Janeiro |
| record_format | dspace |
| spelling | INTA44612019-02-18T17:33:24Z Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method Der, Manuel Olmos, Carol Rosero Yanez, Gustavo Iván Santizo, Itzel Fernandez, Tamara Dieguez, Maria Jose Sacco, Francisco Granell, Pablo Golmar, Federico Lerner, Betiana Lasorsa, Carlos Perez, Maximiliano Biosensores Silicio Biosensors Silicon Macroporos Método Electroquímico Micropores Electrochemical Method En el presente trabajo se estudió el proceso de fabricación de una serie de macroporos sobre obleas de silicio cristalino mediante la técnica wet etching. Se evaluó la incidencia de distintos factores como el voltaje, la temperatura y el agente de frenado sobre las características específicas de la formación. A partir de los datos obtenidos de la evolución de las corrientes fue posible estandarizar el proceso y determinar el momento de formación del poro, esencial en cuanto a la disponibilidad de un método compatible con las exigencias de la industria. Finalmente, se concluyó que para la fabricación de poros en forma controlada, las condiciones óptimas corresponden a una temperatura de 84 ˚C, HCl como agente de frenado y voltajes de 0,1V, 0,5V y 1V respectivamente. Los anteriores resultados son de gran importancia en los campos de la medicina y la biología en relación a la utilidad de los poros como dispositivos de sensado. In the present work, the fabrication process of a set of micropores on crystalline silicon wafers manufactured through wet etching technique was studied. The influence of different control factors such as voltage, temperature and braking agent on the specific characteristics of formation was evaluated. An exhaustive analysis of the evolution of electric currents during the fabrication made possible to standardize the process and determine the pore-formation time, essential feature considering the exigent requirements of industry. Finally, it was concluded that optimum conditions for a controlled fabrication of pores correspond to a temperature of 84 ˚C, HCl as a braking agent and voltages of 0,1V, 0,5V and 1V respectively. The above results are of great importance in different fields, such as biology or medicine, in relation to the utility of pores as sensing devices. Instituto de Genética Fil: Der, Manuel. Universidad de Buenos Aires. Facultad de Ciencias Exactas y Naturales. Departamento de Física; Argentina. Fil: Olmos, Carol. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina Fil: Rosero Yanez, Gustavo Iván. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina Fil: Santizo, Itzel. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina Fil: Fernandez, Tamara. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina Fil: Dieguez, María José. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentina Fil: Sacco, Francisco. Instituto Nacional de Tecnología Agropecuaria (INTA). Instituto de Genética; Argentina Fil: Granell, Pablo. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentina Fil: Golmar, Federico. Instituto Nacional de Tecnología Industrial; Argentina Fil: Lerner, Betiana. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina Fil: Lasorsa, Carlos. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina Fil: Perez, Maximiliano. Universidad Tecnológica Nacional. Facultad Regional Haedo. Grupo de Ingeniería de Recubrimientos Especiales y Nanotecnología; Argentina 2019-02-18T17:27:38Z 2019-02-18T17:27:38Z 2018-07 info:ar-repo/semantics/artículo info:eu-repo/semantics/article info:eu-repo/semantics/publishedVersion http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461 1517-7076 10.1590/S1517-707620180002.0461 spa info:eu-repo/semantics/openAccess http://creativecommons.org/licenses/by-nc-sa/4.0/ Creative Commons Attribution-NonCommercial-ShareAlike 4.0 International (CC BY-NC-SA 4.0) application/pdf Universidade Federal do Rio de Janeiro Materia 23 (2): e-12127 (Julio 2018) |
| spellingShingle | Biosensores Silicio Biosensors Silicon Macroporos Método Electroquímico Micropores Electrochemical Method Der, Manuel Olmos, Carol Rosero Yanez, Gustavo Iván Santizo, Itzel Fernandez, Tamara Dieguez, Maria Jose Sacco, Francisco Granell, Pablo Golmar, Federico Lerner, Betiana Lasorsa, Carlos Perez, Maximiliano Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| title | Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| title_full | Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| title_fullStr | Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| title_full_unstemmed | Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| title_short | Caracterización del proceso de fabricación de macroporos sobre sustrato de silicio por método electroquímico = Characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| title_sort | caracterizacion del proceso de fabricacion de macroporos sobre sustrato de silicio por metodo electroquimico characterization of fabrication process of micropores on silicon substrate by electrochemical method |
| topic | Biosensores Silicio Biosensors Silicon Macroporos Método Electroquímico Micropores Electrochemical Method |
| url | http://www.scielo.br/pdf/rmat/v23n2/1517-7076-rmat-23-02-e12127.pdf http://hdl.handle.net/20.500.12123/4461 |
| work_keys_str_mv | AT dermanuel caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT olmoscarol caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT roseroyanezgustavoivan caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT santizoitzel caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT fernandeztamara caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT dieguezmariajose caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT saccofrancisco caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT granellpablo caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT golmarfederico caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT lernerbetiana caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT lasorsacarlos caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod AT perezmaximiliano caracterizaciondelprocesodefabricaciondemacroporossobresustratodesiliciopormetodoelectroquimicocharacterizationoffabricationprocessofmicroporesonsiliconsubstratebyelectrochemicalmethod |