Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

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Caracterización de películas delgadas de nitruro de aluminio (AlN) fabricadas por la técnica de erosión iónica

Bibliographic Details
Main Author:	García Méndez, Manuel (Author)
Corporate Author:	e-libro, Corp.
Format:	Article
Language:	Spanish
Published:	[Monterrey, N.L.] : Universidad Autónoma de Nuevo León, Secretaría Académica, 2008.
Subjects:	Ciencia. Tecnología. Science. Technology. Artículos electrónicos.
Online Access:	https://elibro.net/ereader/unanicaragua/19576

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